一种发射电流可控的小型化非放射性电子源

摘要

本发明涉及真空电子技术领域，一种发射电流可控的小型化非放射性电子源，主要包括加速电压源、电流表、抽取电压源、灯丝加热电流源、灯丝、抽取栅格、加速电极、氮化硅膜、真空腔，抽取栅格位于真空腔内的灯丝前面1毫米处，真空腔另一端为加速电极，氮化硅膜贴附于真空腔外的加速电极的中心开口处，加速电压源使得从灯丝发射出的电子加速并获得动能，调节抽取电压源能够控制真空腔内部电子束的聚焦或散焦，抽取栅格至加速电极之间为加速区域且长度5毫米，灯丝工作时电流0至300mA，在灯丝和抽取栅格之间的电子抽取电场独立于加速电场，使得可以调节灯丝的电流和抽取电场来控制电子发射，氮化硅膜为1×1平方毫米且厚度250纳米。