公开/公告号CN107077079B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-12-14
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201580058279.1
申请日2015-08-20
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人王茂华;吕世磊
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2022-08-23 10:22:07
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-14
授权
授权
2017-09-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20150820
实质审查的生效
2017-09-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20150820
实质审查的生效
2017-08-18
公开
公开
2017-08-18
公开
公开
2017-08-18
公开
公开
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