使用结构性信息的缺陷检测

摘要

本发明提供用于基于结构性信息来检测样本上的缺陷的系统及方法。一种系统包含一或多个计算机子系统，所述子系统经配置用于基于样本上的阵列区中的结构的特性来将由所述阵列区中的检验子系统的检测器产生的输出分离成所述输出的至少第一片段与第二片段，使得不同片段中的所述输出已被产生于所述阵列区中的不同位置，其中形成具有所述特性的不同值的所述结构。所述计算机子系统还经配置用于通过基于所述输出是处于所述第一片段中还是处于所述第二片段中而将一或多个缺陷检测方法应用于所述输出以检测所述样本上的缺陷。