一种物镜内部温度分布和应变测量系统及其测量方法

摘要

本发明公开了一种物镜内部温度分布和应变测量系统及其测量方法，该系统包括：若干光纤、设于每根光纤内的若干布拉格光栅组、与光纤对应设置的光源和光谱分析仪，光纤设于镜筒内壁和/或镜片表面，且两端伸出镜筒外连接光源和光谱分析仪，若干布拉格光栅组的中心波长不同。本发明通过在光纤内设置若干布拉格光栅组，同时在光纤上连接光源和光谱分析仪，不仅可以实时测量物镜内不同位置的温度变化，最终得到整体的温度分布情况，且根据光谱分析仪中得到的光波数据进行计算，避免了由于装配、环境、应力等问题而带来的测量误差，提高了系统的测量精确度和稳定性，对后期温控补偿或成像质量的分析提供更完善的依据，提高了光刻机的成像质量。