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低成本图形化厚银膜的制备方法

摘要

本发明提供了一种低成本图形化厚银膜的制备方法,所述方法的步骤包括:(1)先用碳酸钙清洗玻璃片表面,然后将玻璃片依次在碱性和酸性溶液中超声处理,并用去离子水超声清洗,进行烘干处理;(2)在经过步骤(1)清洗干净的玻璃片上溅射Cr/Cu种子层,依次进行甩光刻胶、烘胶、曝光、显影处理,实现光刻胶结构的图形化;(3)将经过步骤(2)处理后的玻璃片在酸性镀银镀液环境中进行电镀,然后再去除光刻胶和种子层最终实现图形化的银膜。本发明中的制备工艺可以与微加工工艺兼容,同时具有成本低,设备简单,易于控制等优点,有望在医疗器械和电子工业等领域得到应用。

著录项

  • 公开/公告号CN105463536B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-11-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海交通大学;

    申请/专利号CN201510868665.9

  • 申请日2015-12-01

  • 分类号

  • 代理机构上海汉声知识产权代理有限公司;

  • 代理人徐红银

  • 地址 200240 上海市闵行区东川路800号

  • 入库时间 2022-08-23 10:21:06

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-11-16

    授权

    授权

  • 2016-05-04

    实质审查的生效 IPC(主分类):C25D5/02 申请日:20151201

    实质审查的生效

  • 2016-05-04

    实质审查的生效 IPC(主分类):C25D 5/02 申请日:20151201

    实质审查的生效

  • 2016-04-06

    公开

    公开

  • 2016-04-06

    公开

    公开

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