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基于压接互连技术的电力电子集成模块的制备方法

摘要

本发明公开了一种基于压接互连工艺和混合封装技术的电力电子集成模块的制备方法,首次提出铍青铜弹簧压接互连工艺的原理以及采用该工艺设计制造电力电子集成模块的封装步骤。铍青铜压接互连工艺主要原理是通过铍青铜制作的特定形状和弹性的弹簧与绝缘栅双极型晶体管(IGBT)和快恢复二极管(FRED)管芯实现互连。铍青铜弹簧既提供足够大的压接力,同时又承担导电的功能。该工艺替代了商用模块中广泛采用的铝丝互连工艺,因此可以提高模块的长期可靠性。本说明书不仅阐述了铍青铜压接互连工艺的原理,而且还介绍了采用该工艺实现的一个半桥型电力电子集成模块,包括其封装步骤、模块的结构及实验结果。

著录项

  • 公开/公告号CN1307699C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2007-03-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 西安交通大学;

    申请/专利号CN200510041793.2

  • 申请日2005-03-14

  • 分类号H01L21/50(20060101);H01L21/00(20060101);

  • 代理机构61200 西安通大专利代理有限责任公司;

  • 代理人李郑建

  • 地址 710049 陕西省西安市咸宁路28号

  • 入库时间 2022-08-23 08:59:20

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-03-08

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/50 授权公告日:20070328 终止日期:20180314 申请日:20050314

    专利权的终止

  • 2007-03-28

    授权

    授权

  • 2007-03-28

    授权

    授权

  • 2005-11-02

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2005-11-02

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2005-09-07

    公开

    公开

  • 2005-09-07

    公开

    公开

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