一种表面电阻测试探头及其测试装置及表面电阻测试方法

摘要

本发明公开了一种表面电阻测试探头及其测试装置及表面电阻测试方法，通过液态的水银作为测试探头取代四探针法测量表面电阻的机械探针，能有效的克服机械探头损伤涂层、薄膜和明显改变待测材料受力状态的缺陷，获得更准确的测量结果，并同时设计发明了对应的使用水银作为测试探头的电阻测试装置，能方便的使用水银探头测试样品表面电阻，并能方便快速的注入和收回水银，该装置设计简洁，使用方便，测试效果准确可重复，效果良好。使用本发明的水银探头测试方法及测试装置测试表面易损伤的样品能有效防止损伤样品表面和减小过大的测试压力对待测样品尤其是涂层样品的表面电阻的干扰。