一种基于压电电子学效应的加速度测量装置及测量方法

摘要

本发明公开了一种基于压电电子学效应的加速度测量装置及测量方法，包括质量摆片单元，用于产生惯性力；固定环单元，同运载体保持相对静止；挠性石英片单元，连接质量摆片单元和固定环单元；形变检测单元，又包括纳米线和位于纳米线两端的块状电极，至少一块状电极同纳米线形成肖特基势垒；纳米线的两端通过块状电极固定于质量摆片单元和固定环单元上；引线单元将形变检测单元同信号处理单元连接形成回路；信号处理单元，用于在形变检测单元两端提供电压差，并测量纳米线产生的电流及根据该电流得到加速度。本发明利用压电电子学效应对界面结区势垒的调控放大作用以及纳米材料极其独特的机械性能，提高测量加速度的精度、灵敏度和量程。