公开/公告号CN105954240B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-11-09
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院南京地理与湖泊研究所;
申请/专利号CN201610342861.7
申请日2016-05-23
分类号G01N21/63(20060101);
代理机构32230 江苏致邦律师事务所;
代理人徐蓓
地址 210008 江苏省南京市玄武区北京东路73号
入库时间 2022-08-23 10:20:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-09
授权
授权
2016-10-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/63 申请日:20160523
实质审查的生效
2016-10-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/63 申请日:20160523
实质审查的生效
2016-09-21
公开
公开
2016-09-21
公开
公开
机译: 使用相同的原位绝缘测量装置和原位绝缘测量方法
机译: 使用阻抗的薄膜厚度的原位测量装置,原位测量方法及其记录介质
机译: 使用阻抗的薄膜厚度的原位测量装置,原位测量方法及其记录介质