法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-02
授权
授权
2016-09-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H05H1/24 申请日:20140828
实质审查的生效
2016-09-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H05H 1/24 申请日:20140828
实质审查的生效
2016-03-16
公开
公开
2016-03-16
公开
公开
机译: 电感耦合等离子体ICP反应器中的ICP功率沉积控制
机译: 电感耦合等离子体ICP反应器中的ICP功率沉积控制
机译: 电感耦合等离子体ICP反应器中的ICP功率沉积控制