一种光通信和磁储存镀膜用稀土-过渡金属旋转靶材及其制备方法

摘要

本发明涉及了一种光通信和磁储存镀膜用稀土‑过渡金属旋转靶材及其制备方法，采用真空等离子喷涂的方法进行制备，得到的稀土‑过渡金属旋转靶材的尺寸不受限制，厚度可达到3～13mm，是大尺寸一体化靶材，克服了绑定拼接靶材容易引起的电弧放电和靶材黑化问题，另外靶材纯度高，克服了传统等离子喷涂工艺制备的靶材纯度低、致密度差、氧、氮含量高等问题。