一种提高ECR离子源中氢分子离子比例系统及其方法

摘要

本发明公开了一种提高ECR离子源中氢分子离子比例系统及其方法。本发明采用放电室内衬套装在放电室内，放电室内衬的材料采用高复合系数材料，其中钽材料为首次在该类型的离子源中作为内衬使用来提高H₂⁺离子比例；通过进气口向放电室中通入纯氢气；微波系统将微波通过微波窗传输至放电室内；磁体提供轴向共振场；微波与放电室中的氢气作用产生等离子体，同时，氢原子在放电室内衬的高复合系数材料表面发生复合作用，形成大量氢分子，使得放电室内的氢分子含量升高，等离子体中氢原子含量减少，从而使得H⁺比例降低，H₂⁺离子比例升高；H₂⁺离子流强可以达到40mA，H₂⁺离子的比例可以达到50％；系统运行的稳定性高，寿命长。