可掀式探针卡反面调针治具及其调针方法

摘要

一种可掀式探针卡反面调针治具及其调针方法。为提供一种可完全调整探针卡针位到正确位置的积体电路检测器具调整装置及其方法，提出本发明，治具包括电子显微镜、底座、设于底座上转动结构、连设于转动结构并放置可抽换玻璃的玻璃基座及借以缓冲玻璃基座翻转至水平共面时的速度的缓冲件；玻璃基座上设有并借以翻转调整玻璃基座的翻转结构；方法包括固定探针卡、安装可掀式探针卡反面调针治具及调整探针卡针位；固定探针卡系以探针卡的反面朝上将探针卡固设于调针机平台上；安装可掀式探针卡反面调针治具系将可抽换式玻璃设于玻璃基座上；可抽换式玻璃针对不同的晶圆制作不同的遮罩薄膜，遮罩薄膜具有多个探针定位点；调整探针卡针位系使探针卡探针的针位对准遮罩薄膜上的定位点。