公开/公告号CN105453234B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-11-02
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201480043641.3
申请日2014-05-07
分类号H01L21/304(20060101);H01L21/687(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 10:19:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-02
授权
授权
2016-08-31
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/304 申请日:20140507
实质审查的生效
2016-08-31
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20140507
实质审查的生效
2016-03-30
公开
公开
2016-03-30
公开
公开
机译: 形成杂质输入层的装置和保护静电夹盘的方法,该静电夹盘能够抑制由于异物导致的静电夹盘的性能劣化
机译: 一种抛光新的或翻新的静电卡盘的方法
机译: 抛光新的或翻新的静电卡盘的方法