公开/公告号CN105453227B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-10-19
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201480044915.0
申请日2014-07-02
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 10:19:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-10-19
授权
授权
2016-09-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/268 申请日:20140702
实质审查的生效
2016-09-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/268 申请日:20140702
实质审查的生效
2016-03-30
公开
公开
2016-03-30
公开
公开
机译: VFM可变频率微波VFM工艺及其在半导体薄膜组件中的应用
机译: 变频微波(VFM)工艺及其在半导体薄膜制造中的应用
机译: 变频微波(VFM)工艺及其在半导体薄膜制造中的应用