光动量激励纳米梁纳微颗粒质量测量装置与方法

摘要

本发明提供一种光动量激励纳米梁质量测量装置，包括类正弦光动量激励发生装置和微质量检测装置，上激光器和下激光器的单色光分别照射上圆盘和下圆盘通光孔，驱动电动机带动轴旋转，可以产生类似正弦分布光动量激励，激励纳米梁振动，纳米梁在交变光动量激励作用下产生受迫振动，粘贴于纳米梁根部的电阻层电阻阻值发生变化，利用惠斯通电桥电路可以将该信号输出，经信号放大器放大后，可以进行频谱分析，得到振动时域和频域振动信息图像，得到振动幅值和振动频率等振动参数。改变光动量激励发生装置驱动电机转速，光动量激励频率随着发生变化，纳米梁共振时，输出电流信号值最大，测量电压变化峰值可以检测纳米梁的共振振动频率，通过计算得到纳米梁末端粘附的附加质量的大小，达到测量纳微颗粒质量的目的。