一种偏钛酸包覆氧化铝核壳磨粒抛光液组合物及其制备方法

摘要

本发明公开了一种偏钛酸包覆氧化铝核壳磨粒抛光液组合物，其特征在于，所述的核壳磨粒抛光液组合物含有：偏钛酸，0.024～0.24 wt.%；氧化铝，4 wt.%；六偏磷酸钠，0.04 wt.%；去离子水，95.72～95.936 wt.%；该方法制备的抛光液组合物是以硬度高的氧化铝为核，硬度低的偏钛酸为壳的核壳磨粒，由于外壳硬度较低，可以降低氧化铝对蓝宝石基片表面的“硬冲击”，从而改善抛光划痕和表面损伤，降低表面粗糙度；由于偏钛酸和蓝宝石表层的氧化铝能发生反应，能提高蓝宝石的抛光速率。采用本发明制备的抛光液对蓝宝石基片进行抛光，可以提高蓝宝石基片表面去除速率，降低蓝宝石表面的粗糙度。