基于布拉格光栅的纳米三坐标微测头测量系统及测量方法

摘要

本发明公开了一种基于布拉格光栅的纳米三坐标微测头测量系统及其测量方法，其特征是测量系统包括传感模块、解调光路模块、信号转换模块和上位机；传感模块是采用基于光纤布拉格光栅的谐振式纳米三坐标接触式测头，测头中的三根FBG传感器连接在光开关矩阵的不同的输出端；由宽带光源发出的光经过光开关矩阵分时进入不同的FBG传感器，经过FBG传感器的反射后进入解调光路，设置在任意时刻仅有一根FBG传感器的反射信息利用匹配光栅在解调光路中得到解调，利用光开关矩阵实现对三根FBG传感器的空分复用的解调方式，分别得到每一根FBG传感器的测量值，实现三维测量和动态解调，其灵敏度高、重复性好、分辨力高、稳定性好。