一种干涉测量中成像畸变的标定系统及标定方法

摘要

本发明涉及光学检测技术领域，特别涉及一种干涉测量中成像畸变的标定系统，包括干涉测量中成像畸变的标定系统，包括干涉测量装置、调整机构、球冠网格板和数据处理装置，球冠网格板，用于对所述被检光学元件进行畸变标定；调整机构调整光学被检光学元件处于干涉测量装置共焦干涉检测位置，被检光学元件中心、球冠网格板的几何中心与干涉测量装置的光轴重合，球冠网格板的坐标轴与干涉测量装置探测器的坐标轴重合；干涉测量装置进行干涉检测；数据处理装置计算畸变函数及被检光学元件的面形误差。本发明还包括干涉测量中成像畸变的标定方法。通过设置网格板，进行成像畸变标定，达到了在不破坏被检元件的情况下，实现成像畸变标定的有益效果。