微动机构、动镜干涉仪和采用动镜干涉仪的红外光谱仪

摘要

本发明公开了微动机构、动镜干涉仪和采用动镜干涉仪的红外光谱仪，其中，该微动机构包括主动机构和从动机构,该主动机构包括：主动弹性簧片组、主动动子、斜块和主动定子；该从动机构包括：从动弹性簧片组、镜座、从动块、从动定子以及动镜模块；主动弹性簧片组的活动端处设置有所述主动动子和斜块，所述主动弹性簧片组的固定端通过所述主动定子固定；所述从动弹性簧片组的活动端处设置有镜座，所述从动块和所述动镜模块固定在所述镜座处，所述从动弹性簧片组的固定端通过所述从动定子固定，使所述从动弹性簧片组与主动弹性簧片组在未受外力时相互垂直，且使所述从动块与所述斜块可动地接触。具有体积小、重量轻、成本低、性能稳定的多种优点。