图像取得装置以及图像取得装置的图像取得方法

摘要

在图像取得装置(1)中，工作台驱动部(11)(驱动部)以规定的速度使相对于试样的物镜(25)的视野位置移动并且二维摄像元件(6)以规定的帧频依次对试样(S)的光学图像进行摄像。因此，为了遍布试样(S)整体来取得部分图像所需要的时间被缩短。另外，在该图像取得装置(1)中，视野位置的移动速度是基于摄像元件(6)的帧频进行设定的速度。因此，视野位置的移动和摄像元件(6)的摄像被同步，可以仅对必要的部分图像进行摄像。因此，在该图像取得装置(1)中，能够高速地实行部分图像的取得以及整体图像的合成。