一种毫米波/太赫兹超宽带开路—短路去嵌方法及系统

摘要

本发明公开了一种毫米波/太赫兹超宽带开路—短路去嵌方法，该方法包括：获取测试电路为开路状态、短路状态以及接入待测器件时，其测试端的第一、第二、第三散射参数测试值，根据第一散射参数测试值，建立测试结构开路状态时的开路状态集总参数模型；对开路状态集总参数模型进行第一次修正；在一次修正集总参数模型上，根据第二散射参数测试值，建立测试电路短路状态集总参数模型；对短路状态集总参数模型进行第二次修正；获取第一修正散射参数和第二修正散射参数；将第一修正散射参数和第二修正散射参数从第三散射参数值中去除，得到待测器件的散射参数值。该方法具有去嵌频率高、准确度高、结构简单、操作简便、成本低的优势。