公开/公告号CN105671503B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-08-28
原文格式PDF
申请/专利权人 合肥工业大学;
申请/专利号CN201610065100.1
申请日2016-01-27
分类号C23C14/35(20060101);C23C14/16(20060101);C23C14/24(20060101);C23C14/02(20060101);
代理机构34101 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司;
代理人何梅生;卢敏
地址 230009 安徽省合肥市包河区屯溪路193号
入库时间 2022-08-23 10:16:41
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-28
授权
授权
2016-07-13
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/35 申请日:20160127
实质审查的生效
2016-07-13
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20160127
实质审查的生效
2016-06-15
公开
公开
2016-06-15
公开
公开
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