放电电离电流检测器

摘要

本发明涉及一种放电电离电流检测器。作为被覆用于引起低频阻挡放电的金属制的等离子体生成用电极(4、5、6)的表面的圆筒管(2)，使用OH含量为5ppm以下的低OH含量的石英玻璃。在低频阻挡放电中，明确了如下情况：电介质所包含的源自OH的H、O在较长的期间内放出到等离子体气体中，这是基线电流增加的主要原因，通过使用低OH含量的石英玻璃，能够大幅降低基线电流，由此还能够改善S/N、检测界限。