法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-03
授权
授权
2017-01-11
实质审查的生效 IPC(主分类):H05H1/00 申请日:20160728
实质审查的生效
2016-12-14
公开
公开
机译: -被动电容耦合静电CCE探针装置,用于检测等离子体处理室中的原位电弧放电事件
机译: 用于对衬底进行表面处理的装置包括等离子体产生室,处理室,这些室通过等离子体喷嘴连接,用于产生反向放电
机译: 一种用于平衡人体原子的正离子消除装置,具有铬钢管,电位器调节正离子的放电速度,并通过焊接电阻和二极管的接触线与管连接。