包括圆锥形气体分配器的流化床反应器和相关的氟化方法

摘要

提供了流化床氟化反应器的实施例，作为流化床反应器的实施例，以及利用流化床氟化反应器执行的氟化方法的实施例。在一个实施例中，所述流化床氟化反应器包括氟气源、反应容器、流体联接到氟气源的风箱以及流体联接在反应容器和风箱之间的圆锥形气体分配器。所述圆锥形气体分配器具有在氟化处理期间将氟气流从风箱引入到氟化反应容器中的多个气流开口。