一种晶体硅太阳能电池的磷扩散方法

摘要

本发明公开了一种晶体硅太阳能电池的磷扩散方法，包括如下步骤：(1)将扩散炉升温至760~780℃；进舟；(2)调温至780~790℃；(3)通入携磷源气体及干氧，进行低温扩散；(4)停止通入携磷源气体及干氧，将炉内温度升高至820~840℃，推进，(5)进行恒温推进；(6)将扩散炉内温度降低到700~750℃，进行降温扩散；(7)降温出舟。本发明开将退火步与二次扩散步结合，避免了现有技术中因退火而引起的表面掺杂溶度二次降低且杂质分布宽的问题；不仅使杂质分布符合浅结及窄杂质需求，而且还增加了产量，提高了光电转换效率。