在玻璃中形成高密度孔阵列的方法

摘要

提供了一种在玻璃中形成高密度孔阵列的方法，该方法包括以下步骤：提供具有前表面的玻璃片，然后用UV激光束照射玻璃片的前表面，照射的焦点在玻璃片前表面的+/‑100μm内，最优选在玻璃片前表面的+/‑50μm内。然后可以通过蚀刻来扩大所产生的孔阵列。如果需要的话，可以在蚀刻之前对前表面进行抛光。