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二氧化碳激光器的放电电极、其制备方法及二氧化碳激光器

摘要

本发明涉及一种二氧化碳激光器的放电电极、其制备方法及二氧化碳激光器。一种二氧化碳激光器的放电电极,包括铝基板及形成于所述铝基板表面的镍层。上述二氧化碳激光器的放电电极,通过在铝基板的表面沉积镍层,镍层抗高温能力、抗氧化能力及表面硬度均大大优于铝,避免在运输、保存及装配过程中划伤放电电极;镍层提高了放电电极的抗高温性能,避免放电电极在使用过程灼烧变色及氧化,从而避免了二氧化碳激光器放电不均及激光功率的波动及因放电电极氧化引起的激光功率下降;镍层的表面电子逸出能大约是铝表面的1/3左右,可以降低启辉电压并使辉光放电更加的平稳,经测试证明在铝质电极表面沉积一层镍层大大提高了二氧化碳激光器功率的使用寿命。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-07-06

    授权

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  • 2016-07-13

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C18/36 申请日:20160316

    实质审查的生效

  • 2016-06-15

    公开

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