法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-07-06
授权
授权
2016-07-13
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C18/36 申请日:20160316
实质审查的生效
2016-06-15
公开
公开
机译: 用于二氧化碳激光器的激光气体分离装置,具有用于将二氧化碳激光器的废气冷却至二氧化碳的沸点与废气成分之间的温度的废气冷却装置。
机译: 二氧化碳激光器与使用该激光器的二氧化碳激光器的共振器
机译: 用于平衡耦合射频电源以驱动气体放电二氧化碳激光器的装置和方法