一种由氖氦混合气生产纯氖的装置及其方法

摘要

本发明公开了一种由氖氦混合气生产纯氖的装置及其方法，该装置包括冷箱、第一氮吸附器、第二氮吸附器、真空泵、氦气压缩机、氦膨胀机、氦膨胀机制动端、液氖杜瓦、液氖泵和空浴式气化器，其中冷箱中设置有第一气液分离器、第二气液分离器、第一板翅式换热器、第二板翅式换热器、第三气液分离器、精馏塔、氦膨胀机和真空液氮换热器；第一氮吸附器、第二氮吸附器、真空泵、氦气压缩机、氦膨胀机制动端、液氖杜瓦、液氖泵和空浴式气化器均设置在冷箱的外部。该装置通过将吸附器放在冷箱之外，避免了在冷态下的加温再生的过程，避免了冷箱中的剧烈的工况变化，从而极大地改善了冷箱的热应力设计，也避免了因为重复的加温再生而可能导致的泄漏。