公开/公告号CN104640202B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-06-19
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院信息工程研究所;
申请/专利号CN201510004877.2
申请日2015-01-05
分类号H04W64/00(20090101);H04W4/02(20180101);H04W4/30(20180101);H04L27/26(20060101);
代理机构11200 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人司立彬
地址 100093 北京市海淀区闵庄路甲89号
入库时间 2022-08-23 10:13:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-06-19
授权
授权
2015-06-17
实质审查的生效 IPC(主分类):H04W64/00 申请日:20150105
实质审查的生效
2015-05-20
公开
公开
机译: 位置变化检测装置,包括该位置变化检测装置的系统以及用于操作位置变化检测装置的方法
机译: 投影透镜的成像位置变化检测方法,镜台位置的调整方法,投影透镜的成像位置变化检测装置,镜台位置的调整装置和投影曝光装置
机译: 对象的位置变化检测装置以及对象的位置变化检测和记录装置