一种硅片切割废弃硅浆料回收制备多孔碳化硅的方法

摘要

本发明涉及一种硅片切割废弃硅浆料回收制备多孔碳化硅的方法，其方法如下：（1）废弃硅浆料固液分离，分离得固相和液相；（2）固相与pH值为0.1~2.0无机酸水溶液混合，酸处理后固液分离，分离得固体和液体；（3）固体通入具有含氯物质的惰性气体充分接触，反应即得到多孔碳化硅；采用本发明所述的方法，工艺流程和生产周期短、回收率高达98.5%，获得的多孔碳化硅具有较高的表面积和孔容，可作为载体应用于合成氨、对羟基苯甲醛加氢、腈类化合物加氢、烷烃脱氢和芳烃氧化等领域，从而减小资源浪费和环境污染，提高副产品价值。