机械抛光过程的建模仿真方法及装置

摘要

本发明实施例提供的一种机械抛光过程的建模仿真方法及装置，涉及超精密制造领域，所述方法包括获取表征抛光工具的第一操作对象、表征工件的第二操作对象、表征抛光液的第三操作对象以及表征所述抛光液中磨粒的第四操作对象；分别获取第一、二、三及四操作对象的物理特性数据；建立表征机械抛光过程的固液耦合模型；基于所述固液耦合模型、第一操作对象的第一运动参数、第二操作对象的第二运动参数以及预设的仿真时间段，进行仿真，并获取所述第二操作对象的受力数据以及所述第四操作对象的速度数据；然后获得第一数据以及第二数据；分析且对比第一数据，获得第一运动参数以及第二运动参数，以便在实际机械抛光过程中提高抛光效率。