一种基于共面波导结合晶体管的太赫兹波调制器

摘要

该发明公开了一种基于共面波导结合晶体管的太赫兹波快速调制器，属于电磁功能器件技术领域，重点针对太赫兹波段的快速动态功能器件。通过直波导腔体导入太赫兹波，然后通过探针结构将太赫兹波耦合到本器件的核心部分晶体管结合共面波导(CPW)的结构上，该结构是由三根金属线结合半导体衬底构成的悬置共面波导与共面波导相邻金属传输带之间加入的Metamaterials单元嵌套HEMT复合结构调制单元阵列结构组成。通过控制调制单元的通断改变太赫兹波在CPW中的传输特性，从而实现对太赫兹波的快速幅度和相位调制，最终再通过探针‑波导结构将调制后的THz传输出去。可有效的对太赫兹波进行高效、快速幅度调制。