检测辉光放电装置中电弧的方法及控制高频电弧放电的装置

摘要

在检测具有高频电源PS的辉光放电装置GD内的电弧放电的方法中，当dVr/dt-dVf/dt增加到第一电平以上时，向高频电源PS输出切断脉冲时间T1，以停止辉光放电装置GD的电力供应，其中Vf和Vr分别是施加给辉光放电装置GD的行波电压和反射波电压。当在辉光放电装置的电力供应终止之后的预定时间To内Vr/Vf增大为第二电平或更高的电平时，判定在辉光放电装置中已经发生了电弧放电。