基于区域的虚拟傅里叶滤波器

摘要

本发明涉及基于区域的虚拟傅里叶滤波器，包括：搜索图像数据以标识半导体晶片上的一个或多个图案化区域；生成一个或多个虚拟傅里叶滤波器(VFF)工作区；从VFF工作区采集初始图像数据集；利用初始图像数据集来将VFF训练块限定在VFF工作区的所标识图案化区域内，其中每一VFF训练块被限定为涵盖所标识图案化区域的显示所选重复图案的部分；利用来自VFF训练块的初始图像数据集来计算每一VFF训练块的初始频谱；以及通过标识在频域中初始频谱的具有最大值的频率来生成每一训练块的VFF，其中VFF被配置成在标识为显示频谱最大值的频率处使初始频谱的幅值为零。