一种基于几何光学的镜面出平面位移测量装置及其测量方法

摘要

本发明公开了一种基于几何光学的镜面出平面位移测量装置及其测量方法。本发明通过点照明系统提供光信息，光在两个镜面上的多次反射，利用图像采集设备获得带有镜面出平面位移信息的数字图像，更换目标镜，采集多张数字图像，可以通过对比分析这些数字图像上光点位置的变化，进而获得镜面的出平面位移。本发明提供一种新型的平面度监测装置，可以完成较高精度的平面度检测，具备全场检测、使用灵活方便且检测速度高的特点。