基于补偿透镜的大口径凸非球面反射镜的干涉检验方法

摘要

本发明公开了一种基于补偿透镜的大口径凸非球面反射镜的干涉检验方法，首先利用小口径补偿器检测出非球面补偿透镜的透过波前检测的系统误差，然后利用非球面补偿透镜检测大口径凸非球面反射镜的零位补偿干涉检验，得到的检测结果减去前述的系统误差即可得到大口径凸非球面反射镜的面形误差，本发明具有测量口径大、测量精度高的优点。