一种用于气体等离子体反应器的能量回收装置及可能量回收的高压电源

摘要

本发明公开了一种用于气体等离子体反应器的能量回收装置及可能量回收的高压电源，所述气体等离子体反应器通过桥式高压电源供电；所述能量回收装置包括：储能元件，用于存储回收得到的能量；能量回收线圈，所述能量回收线圈与所述桥式高压电源中变压器的次级线圈耦合，整流模块，用于利用能量回收线圈从次级线圈耦合得到的电压进行整流后对储能元件充电。可能量回收的高压电源包括桥式高压电源和所述的能量回收装置。本发明的用于气体等离子体反应器的能量回收装置及可能量回收的高压电源在为气体等离子体反应器供电进行气体等离子体反应时，能够对气体电离时产生的电能进行回收利用，大大提高了能量利用率。