光学晶体制法、掩模、掩模制法及光学器件制法

摘要

本发明提供了光学晶体制法、掩模、掩模制法及光学器件制法。在现有的具有单一周期的光学晶体的情况下，必须按光轴对齐或以光波导中转来串联地连接各波长的光学晶体。鉴于这一问题，本发明提供了这样一种解决方案。沿同一基底，孔按二维周期排列的二维周期结构具有在共同的基本格子矢量方向多个排列的构造。将所述各二维周期结构的孔的形状和周期不同的复合周期结构体作为掩模，在平板型波导的薄膜芯部上叠加所述掩模。借助通过所述掩模向薄膜芯部注入离子束，可将所述掩模的二维的多周期构造传递给所述薄膜芯部。