成像光学系统、照明装置和观察装置

摘要

成像光学系统(1)具有：多个成像透镜(2、3)，其形成最终像(I)和至少一个中间像(II)；第1相位调制元件(5)，其配置在比由该成像透镜(2、3)形成的任意中间像(II)靠物体(O)侧的位置，对来自物体(O)的光的波面赋予空间干扰；以及第2相位调制元件(6)，其配置在与该第1相位调制元件(5)之间隔着至少一个中间像(II)的位置，抵消由第1相位调制元件(5)对来自物体(O)的光的波面赋予的空间干扰。