用于压力传感器的力反馈环路

摘要

用于压力传感器的力反馈环路。压力传感器系统包括力反馈环路。力反馈环路被配置成接收测量压力传感器信号并基于测量压力和静电力而生成反馈信号。基于反馈信号而生成静电力并将其与测量力组合，保持所得到的传感器信号稳定。