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偏振轴检测器、偏振测定装置及方法、偏振光照射装置

摘要

一种偏振轴检测器、偏振测定装置、偏振测定方法和偏振光照射装置,在来自光源的光存在随时间的照度变动时,仍能高精度检测偏振光的偏振轴。偏振轴检测器具备:第一偏振光检测部(311),具有用于检测偏振轴的可旋转的检测用偏振器(311a)和检测通过了检测用偏振器(311a)的来自光源的偏振光的照度信息的第一照度传感器(311b);以及第二偏振光检测部(312),与第一偏振光检测部(311)并列设置,具有直接检测来自光源的偏振光的照度信息的第二照度传感器(312a)。偏振测定装置根据第一偏振光检测部(311)检测到的照度信息和第二偏振光检测部(312)检测到的照度信息来运算来自光源的偏振光的偏振特性。

著录项

  • 公开/公告号CN105300524B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-04-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 优志旺电机株式会社;

    申请/专利号CN201510121772.5

  • 发明设计人 吉田启二;

    申请日2015-03-19

  • 分类号G01J4/04(20060101);G01N21/21(20060101);G01N21/01(20060101);

  • 代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;

  • 代理人高迪

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2022-08-23 10:09:26

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-04-03

    授权

    授权

  • 2017-03-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01J4/04 申请日:20150319

    实质审查的生效

  • 2016-02-03

    公开

    公开

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