公开/公告号CN105359257B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-03-06
原文格式PDF
申请/专利权人 三菱瓦斯化学株式会社;
申请/专利号CN201480033266.4
申请日2014-06-12
分类号
代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人刘新宇
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 10:08:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-06
授权
授权
2016-06-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/304 申请日:20140612
实质审查的生效
2016-02-24
公开
公开
机译: 用于从由铟,镓,锌和氧组成的氧化物(IGZO)的表面上洗涤和去除包含铜的沉积物的液体组合物,使用该液体组合物清洁IGZO表面的方法以及用于清洁该衬底的方法清洗过的
机译: 从包含铟,镓,锌和氧(IGZO)的氧化物表面上清洁/去除含铜附着物的液体组合物,使用所述液体组合物清洁IGZO表面的方法以及使用所述方法进行纯净的清洁
机译: 从包含铟,镓,锌和氧(IGZO)的氧化物表面上清洁/去除含铜附着物的液体组合物,使用所述液体组合物清洁IGZO表面的方法以及使用所述方法进行纯净的清洁