用于铜层和钛层的蚀刻剂组合物及使用该蚀刻剂组合物制造液晶显示器的阵列基板的方法

摘要

本发明公开了一种用于蚀刻铜层和钛层的蚀刻剂组合物以及使用该蚀刻剂组合物制造液晶显示器的阵列基板的方法，该蚀刻剂组合物包括：过硫酸盐和磺基水杨酸，因此，可以以高的蚀刻速度均匀地且环境友好地分批蚀刻具有铜层和钛层的多金属层，且具有优异的热控制性能和在时间上的稳定性。