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一种金属电极和硅基底之间接触电阻的测试方法

摘要

本发明公开了一种金属电极和硅基底之间接触电阻的测试方法,包括如下步骤:(1) 将电池片放在测试底板和固定探针之间;(2) 将固定探针压在电池片的两条主栅上,然后使移动探针划过细栅进行测试,得到第一测试图片;(3) 将电池片水平旋转180度,将电池片固定在测试底板上;(4) 将固定探针压在电池片的两条主栅上,然后使移动探针划过细栅进行测试,得到第二测试图片;(5) 将上述第一测试图片和第二测试图片组合起来,即可得到完整的测试图片。本发明解决了现有技术中测试图片的上端具有大量的留白的问题。

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法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-02-16

    授权

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  • 2015-12-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20150715

    实质审查的生效

  • 2015-12-02

    公开

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