在表面上形成沉积的图案的方法

摘要

一种用于在具有多个腔室(11)的基底的表面的选定部分上形成材料的涂层的方法，包括：提供在其上具有脱模剂(18)的结构(16)；使晶片(10)的顶表面(17)与脱模剂接触以使脱模剂的一部分转移到晶片的顶表面，同时腔室的底部部分与脱模剂保持隔开，以产生中间结构(24)，脱模剂设置在晶片的顶表面上并且腔室的底部部分没有脱模剂；使中间结构暴露到材料(27)，以将所述材料毯式涂覆在脱模剂和腔室的底部部分两者上；选择地去除脱模剂以及涂层材料同时在腔室的底部部分上留下涂层材料。