集成温度相对湿度传感器

摘要

本发明公开了一种集成温度相对湿度传感器，属于传感器技术领域，包括半导体检测单元、二次转换单元、信号处理单元和显示器，半导体检测单元中设有两个半导体应变片R_ε1和R_ε2安装在半径为r₀的膜片上，半导体应变片受压发生变化输出电阻响应，半导体检测单元的输出端连接二次转换单元，二次转换单元接收半导体检测单元的输出信号，二次转换单元将电阻响应信号转换为脉宽信号，二次转换单元的输出端连接信号处理单元，信号处理单元解耦分析二次转换单元的输出信号，显示器连接信号处理单元用来显示安装点的温度、相对湿度和大气压。本发明解决了传统湿敏元件在对水汽的吸附和解析过程中时滞较长的问题，具有响应快的优点，弹性元件系统结构简单。