一种高分辨率的线阵CCD直读型光谱仪

摘要

本发明提供了一种高分辨率的线阵CCD直读型光谱仪，包括入射模块、准直镜、光栅、聚焦镜和线阵CCD芯片；准直镜设置在入射模块的出射光路上，光栅设置在所述准直镜的出射光路上，聚焦镜设置在光栅的出射光路上，线阵CCD芯片设置在所述聚焦镜的出射光路上；入射模块用于将光谱仪的工作波段分割为数个子波段，并控制每次只有一个子波段的光束出射；准直镜用于将所述入射模块的出射光准直后以不同倾角入射在光栅上，以不同倾角入射的不同子波段的光束的中心波长具有相同的衍射角，经所述光栅反射的光再经所述聚焦镜后投射在线阵CCD芯片上。本发明通过光谱的波段分割技术及光栅的空分复用技术可以大幅提升光谱仪的分辨率和灵敏度。