判定方法、控制方法、判定装置、图案形成系统和程序

摘要

本发明提供一种能够可靠并且迅速的判定处理容器内的部件的更换时期的判定方法、控制方法、判定装置、和图案形成系统。判定处理容器内的部件的更换时期的判定方法，包括：预先根据第一图案的形状或尺寸算出第一偏差的工序；在所述处理容器内对基板上的膜进行蚀刻形成第二图案的工序；对所述第二图案的形状或尺寸进行测定的测定工序；根据所测定的所述第二图案的形状或尺寸算出第二偏差的工序；和当所述第二偏差比所述第一偏差大时，判定为所述处理容器内的部件的更换时期的工序。